第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题
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800nm制程工艺的专利技术对于gca来说如同鸡肋，但对于bsec如同神助，掌握后就能跨越1um制程工艺，掌握800nm制程工艺技术。
拥有了193nm的arfi准�
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